1000度探針臺(tái)的夾具及電纜組件。探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測(cè)量?jī)x器。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件。根據(jù)測(cè)量應(yīng)用，可粗略地劃分為以下幾種：I-V/CV測(cè)試用、RF測(cè)試用、高壓大電流I-V/C-V測(cè)試用等。待測(cè)點(diǎn)需要測(cè)試探針的連接，才能與測(cè)試儀器發(fā)生交流。常見的有：普通DC測(cè)試探針、同軸DC測(cè)試探針、有源探針和微波探針。

 

　　1000度探針臺(tái)屬于整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)的基礎(chǔ)，沒(méi)有探針臺(tái)，就相當(dāng)于醫(yī)生沒(méi)有了手術(shù)臺(tái)，在普通的病床上給病人做手術(shù)將增加手術(shù)風(fēng)險(xiǎn)。探針臺(tái)可按實(shí)現(xiàn)目標(biāo)功能不同劃分成三部分：顯微鏡、承載平臺(tái)和精密移動(dòng)組件。

 

　　（1）顯微鏡。沒(méi)有該配置，所有精密操作將無(wú)從談起。目前行業(yè)內(nèi)常見的配置有三種：體視顯微鏡、金相顯微鏡、單筒顯微鏡，前兩種用得多。

　?。?）承載平臺(tái)。該部分是構(gòu)成探針臺(tái)骨架，可分為顯微鏡支架、定位器平臺(tái)和樣品臺(tái)（載物臺(tái)）。不同的顯微鏡，顯微鏡的支架會(huì)有所不同，通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置。定位器平臺(tái)用于放置定位器（探針座）、形狀和尺寸根據(jù)測(cè)試應(yīng)用不同會(huì)有不同的設(shè)計(jì)形式。樣品臺(tái)（載物臺(tái)）用于承載待測(cè)樣品，通常根據(jù)晶圓尺寸設(shè)計(jì)，常用的尺寸從2~12英寸。除了承載樣品的功能，樣品臺(tái)還可根據(jù)測(cè)量需求，設(shè)計(jì)為帶測(cè)量通路和帶精密控溫的形式。

　?。?）精密移動(dòng)組件。以上承載平臺(tái)都配套了相應(yīng)的移動(dòng)定位功能，方便用戶對(duì)顯微鏡、待測(cè)樣品及定位器進(jìn)行精密的移動(dòng)。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動(dòng)功能。